高效异质结电池工艺研发设备

作者:hetepv 来源: 日期:2015/5/25 21:01:56 人气: 标签:异质结电池设备 研发设备 异质结设备

异质结工艺平台由3台完整的PECVD和一台PVD整合而成,可以处理156X156硅片全部核心工艺,全自动操作,并具有接近0.5MW的实际年产能。